УДК 681.586 (075.8)
А 458
Алейников А. Ф., Гридчин В. А., Цапенко М. П.
Датчики. Перспективные направления развития
Учеб. пособие – 2 изд., перераб. и доп./ Под ред. проф. М. П. Цапенко. – Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2003. – 286 с.
Рецензенты: д-р техн. наук, проф., акад. Метролог. академии Б. М. Рогачевский; д-р техн. наук, проф., чл-корр. АН Молдовы, акад. Междунар. академии информатизации И. Ф. Клисторин
Книга издана при содействии Президиумов СО РАСХН и СО РАН
В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Даны сведения о биологических датчиках.
Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков.
Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматику и микроэлектронику.
|
Предисловие |
5 |
|
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ТЕРМИНОВ |
7 |
|
ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ |
16 |
|
1.1. Датчики. Сенсоры. Чувствительные элементы |
16 |
|
1.2. О классификации датчиков |
19 |
|
Список литературы к главе 1 |
31 |
|
ГЛАВА 2. ОДНОМЕРНЫЕ МНОГОСТУПЕНЧАТЫЕ ДАТЧИКИ |
33 |
|
2.1. Варианты построения и метрологические характеристики |
33 |
|
2.2. Автоматизация поиска набора последовательности физических явлений |
50 |
|
2.2.1. Основные положения |
50 |
|
2.2.2. Методы поиска структуры |
59 |
|
2.2.3. Результаты поиска принципов действия многоступенчатых датчиков |
69 |
|
Список литературы к главе 2 |
71 |
|
ГЛАВА 3. МНОГОМЕРНЫЕ ДАТЧИКИ |
74 |
|
3.1. Методы разделения входных величин |
74 |
|
3.2. Двухмерные датчики |
75 |
|
3.3. Трехмерные датчики |
87 |
|
3.4. Коррекция погрешностей измерительных сигналов многомерных датчиков |
98 |
|
Список литературы к главе 3 |
103 |
|
ГЛАВА 4. БИОДАТЧИКИ |
107 |
|
4.1. Основные понятия и определения |
107 |
|
4.2. Основные принципы действия и метрологических характеристики |
113 |
|
Список литературы к главе 4 |
128 |
|
ГЛАВА 5. ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ |
130 |
|
Список литературы к главе 5 |
135 |
|
ГЛАВА 6. МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ |
136 |
|
6.1. Основные этапы кремниевой микроэлектронной технологии |
136 |
|
6.2. Специальные вопросы технологии микроэлектронных датчиков |
166 |
|
6.3. Технологии соединения элементов конструкции датчика |
180 |
|
6.4. Применение микроэлектронных технологий для создания датчиков |
190 |
|
6.5. Тенденции производства микроэлектронных датчиков |
213 |
|
Список литературы к главе 6 |
215 |
|
Приложение 1 |
217 |
|
Приложение 2 |
233 |